lithographie par faisceau d'électrons
- lithographie par faisceau d'électrons
- elektronpluoštė litografija
statusas T sritis radioelektronika
atitikmenys: angl. electron-beam lithography; electron-beam printing
vok. Elektronenstrahllithografie, f; Elektronenstrahlschreiben, n
rus. электронная литография, f; электронно-лучевая литография, f
pranc. gravure électronique, f; lithographie électronique, f; lithographie par faisceau d'électrons, f
Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“.
Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas.
2000.
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lithographie par faisceau d'électrons à enregistrement direct — tiesioginė elektronpluoštė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. direct write electron beam lithography vok. Elektronenstrahllithografie für direkte Waferbelichtung, f rus. непосредственная электронно лучевая… … Radioelektronikos terminų žodynas
lithographie par faisceau d'électrons avec balayage vectoriel — vektorinė elektronpluoštė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. vector scan electron beam lithography vok. Vektorscan Elektronenstrahllithografie, f rus. электронно лучевая литография с векторным сканированием, f pranc … Radioelektronikos terminų žodynas
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installation de lithographie par faisceau d'électrons avec balayage vectoriel — elektronpluoštis vektorinio skleidimo litografijos įrenginys statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. vector scan e beam installation vok. Vektorscan Elektronenstrahlanlage, f rus. установка электронно лучевой литографии с векторным… … Radioelektronikos terminų žodynas
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